產(chǎn)品詳細(xì)
產(chǎn)品名稱： VC-09
發(fā)布日期： 2017-04-12
點(diǎn)擊數(shù)： 2435
詢價(jià)： 點(diǎn)擊產(chǎn)品詢價(jià)
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產(chǎn)品詳情
陶瓷真空吸盤
晶圓夾持系統(tǒng)的作用不僅包括在加工中帶動(dòng)晶圓運(yùn)作，還要將加工所需要的工作載荷作用在晶圓上，并保證晶圓在加工載荷的作用下不會(huì)發(fā)生翹曲變形。因此晶圓夾持系統(tǒng)的性能對(duì)提高最終晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量有重要意義。目前在晶圓夾持系統(tǒng)中使用最廣泛的方法是利用真空負(fù)壓來(lái)吸附工件，『真空吸盤』具有高效率、無(wú)污染、定位精度高等優(yōu)良特性。
晶圓夾持系統(tǒng)的作用不僅包括在加工中帶動(dòng)晶圓運(yùn)作，還要將加工所需要的工作載荷作用在晶圓上，并保證晶圓在加工載荷的作用下不會(huì)發(fā)生翹曲變形。因此晶圓夾持系統(tǒng)的性能對(duì)提高最終晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量有重要意義。目前在晶圓夾持系統(tǒng)中使用最廣泛的方法是利用真空負(fù)壓來(lái)吸附工件，『真空吸盤』具有高效率、無(wú)污染、定位精度高等優(yōu)良特性。
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傳真：
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